高性价比关键部位RF系统测量方案
BIRD 半导体 RF 测试
BIRD Semiconductor RF Measurement
l BIRD Technologies 在射频行业的各市场及产业环节因可靠性而世界闻名──我们全身心致力于提升 BIRD 产品的可靠性。
l 全球范围内设立有 Bird Service Center（BSC），能够根据各国家标准和各企业标准修理与校准 BIRD 产品。
l BSC 能随时部署技术人员，监测和排除故障原因，解决任何现场的问题，优化客户方案，满足客户的需求。
半导体市场
Semiconductor Market
l 自从等离子体**用于晶片生产过程后，功率测量就一直是半导体制造过程的关键部分。等离子体的 特性非常灵敏，受激励能量影响较大，而射频能量直接应用于激励等离子体；
l 半导体产业包含了生产制造高度集成化电路，包含通过将大量极度复杂的生产工艺集成到昂贵的生产 材料上的过程。
l BIRD 长久以来为半导体行业生产过程器件的校准提供高可靠性的，准确度在 1%的功率传感器及RF部件；
l 相对于半导体生产环节的其他部分，RF 电源虽然体积小但是是极为重要的部分，直接影响等离子体特性变化以及生产质量，因此射频可靠性在整个环节中不可或缺；生产过程的重复性对于提高产能和控制半导体生产材料的利润至关重要。
l BIRD 由于射频可靠性而闻名， 同时我们也以能提供满足高重复性要求的仪器感到自豪。
BIRD RF 校准
BIRD RF Calibration
l 在初期，半导体产业所选择的激励能量为 DC 直流源。DC 源具有低成本，低准确度的特点，对于早期半 导体集成电路生产工艺精度要求来说绰绰有余。
l 随着制程科学技术及生产工艺的不断进步，设备厂商 选用射频源代替 DC 源作为激励能量。射频源具有稳定、精准的特点，能够保证激励能量环节的可靠性。
l 在半导体生产中，射频能量直接决定了反应室中等离子体的特性。在半导体生产工艺中，任何环节的 可靠性都影响了*终良率。
l 如在 wafer 生产的 20 日周期内，如若任何环节出现的微小偏差，*终可能 会造成晶格损伤等严重问题，造成大批坏片。
l 作为产业链其中的环节之一，维持射频电源的稳定输出是不可或缺的。在蚀刻、镀膜等工艺中对射频 电源的应用非常广泛，射频上可能出现的问题直接制约了生产工艺及效率。
l 在新进设备装机验证及日常运行阶段，需要定期使用 BIRD RF 校准套件对射频电源进行验证输出一致 性并加以校正；当机台设备出现故障时，需要使用 BIRD RF 校准套件进行故障排查检测。
BIRD 半导体测量解决方案
BIRD Semiconductor Measurement Solution
l 包含半导体精密功率传感器、精密负载、精密读数功率计及 SK-200 缆线测试仪。
其中：
1. 标准阻抗的低插损通过式精密功率传感器（Sensor）串联进入系统，准确测量功率参数；
2. 精密负载（Dummy Load）高效耗散射频能量；
3. 读数功率计（Meter）可自动计算驻波比，实现**计算；
4. SK-200-TC 对于缆线系统及负载准确评估，保证系统稳定准确。
为了获得*大的过程可重复性和一致性，现代等离子应用需要**的RF功率调节和控制。 确保准确，可重复地向腔室输送射频功率的关键因素是对射频发生器的校准，调节和监控。 Bird现在提供超稳定，低VSWR负载，当与4020系列精密功率传感器一起使用时，可快速，**地测量射频源的功率输出。 Bird的8865SC13，8890-300SC13，8921SC13和8931 SC型号不仅提供低VSWR，而且在过程的关键频率下，VSWR的总变量小于0.1 dB。
由于针对不同的时间进行校准，因此无需进行负载预热或重复性风险。 这样可以使与此校准相关的误差*小化，并控制更关键的过程变量之一。
精密油冷假负载
Precision Oil-Cooled Dummy Load
为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态，现代等离子体应用需要**的 RF 功率调节和 控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是 RF 电源的校准、操作规程 和日常监测。
BIRD 提供超稳定，低 VSWR，针对发射机输出功率配合 BIRD 精密功率传感器进行快速**测量的负载。当工作在额定区域时，精密负载 VSWR 的总变化范围能够保持在 0.1dB 以内。
负载针对不同时间长度校准，重复性优良且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差， 控制一个更关键的过程变量稳定。
|
型号
|
功率等级
|
频率范围
|
冷却方式
|
预设接口
|
重量（kg）
|
|
8890-320
|
5kW
|
DC-2.4GHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
33kg
|
|
8921
|
5kW
|
DC-1GHz
|
自然冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
57kg
|
|
8931-230
|
10kW
|
DC-1GHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
65kg
|
|
8921SC13
|
5kW
|
DC-28MHz
*13.56MHz
|
自然冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
57kg
|
|
8931-230SC13
|
10kW
|
DC-28MHz
*13.56MHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
65kg
|
|
8941-230SC13
|
15kW
|
DC-28MHz
*13.56MHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 DIN（f）接口
|
107kg
|
*Dolly 选件
6771-001：5/10kW 负载无尘室专用推车
6771-002：15kW 负载无尘室专用推车
*Dummy Load 校准周期：一年
Moduloads 高功率液冷负载
Moduloads High Power Load
模组液冷负载系列是一款集成式水循环冷却负载，需要 115VAC或 230VAC的电压输入。模组负载能够有效地将高达 25 至 50kW 功率等级的射频能量耗散，支持频率范围延展至 900MHz。负载芯固定在模组中心。 负载模组结构紧凑，提供联锁控制电路提供故 障**保护，可在系统故障发生时保护发射机等重要系统单元。
l 结构紧凑
l 一体式水循环模组系统
l 内置护锁开关，保证 RF **环境
|
型号
|
功率等级
|
频率范围
|
接口类型
|
尺寸
|
重量
|
|
8645B230
|
25kW
|
1kHz-900MHz
|
3-1/8’’ EIA Flg
|
723mm x 497mm x
528mm
|
70kg
|
|
8655B230-5
|
50kW
|
1kHz-900MHz
|
3-1/8’’ EIA Flg
|
1347mm x 497mm
x 528mm
|
125kg
|
*Dolly 选件
6771-011:25kW 水冷负载无尘室专用推车
6772B011:50kW 水冷负载无尘室专用推车
*使用前请详细阅读 manual 或在 BSC 指导下使用
脉冲信号功率传感器
Pulse Signal Power Sensor
7027 系列
7027 系列功率传感器是 BIRD 公司针对半导体市场推出的一款新型实验室级传感器。当应用在指定频率范围和功率范围时，传感器的精度范围能够达到 1%，能够测量脉冲信号功率下的门限功率值等多种调制参数。可提供数个接头种类匹配，使用无需现场校准。
l 脉冲时域信号测量
l 支持至多 4 阶连续脉冲波形门限功率测试
l 标定范围内功率测量精度 1%
|
型号
|
频率范围
|
功率范围
|
重复率
|
脉冲宽度
|
射频接口
|
|
7027-1-24001
|
400kHz±10%
|
25W-25kW
|
10Hz-11.25kHz
|
44us
|
QC 型自定义
|
|
7027-1-64601
|
1MHz±10%
|
5.5W-25kW
|
10Hz-10kHz
|
17us
|
QC 型自定义
|
|
7027-1-44601
|
2MHz±10%
|
5.5W-25kW
|
10Hz-50kHz
|
11us
|
QC 型自定义
|
|
7027-1-94301
|
13.56MHz±5%
|
10W-10kW
|
10Hz-50kHz
|
1us
|
QC 型自定义
|
真实脉冲信号测量
Bird VPM3半导体加载平台已在前段晶圆制程工艺应用中具有先进性。提供全方位的现场传感器兼容，应用程序将数据采集和拥有同时管理多个传感器的能力。
特点
l 同时管理多达50个传感器
l 多重显示功能：数字、模拟和条形图
l 每个显示屏可以根据用户喜好定制。
l 与各种各样的USB功能的传感器兼容：5012D，5014, 5015，5015-EF，5016D，5017D，5018D，5019D，7020系列, 7022系列
功能
l 平均功率（正向和反射），VSWR，峰值功率，峰值因子，和Burst Power
l 具有保存日志文件回放的数据记录功能，XML文件和逗号分隔格式的日志文件
l 快照功能，上乘的系统组件，无需校准，秒插即用
系统要求
l Windows 7及以上
l IE浏览器
l PDF阅读器
l 800 x 600, 256的彩色显示屏（1280 x 720, 16位或更高分辨率的建议）
l 100 MB空闲磁盘空间
l 1个可用USB端口
l 鼠标或指向装置
l 光盘驱动器（用于安装）
