日本YAMATO自动化等离子处理机[产品打印页面]

 日本YAMATO自动化等离子处理机 ISP500

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用途：

*BGA、CSP和摄像基板的等离子处理。

*基板表面的改质。

*电子半导体产业相关部件、材料的

干洗、蚀刻及灰化。

*酸化膜、有机膜的除去。

*界面活性处理。

*表面污染物的去除。

生产线编入和独立使用型In-Line and Stand Alone Type (Strip to Strip process)

Outline（概要）
Two lead frame (strip) vertical or parallel loading function.（双导引结构，垂直或水平装载功能。） Pull out two strip from Magazine--Loading two strip into the chamber--Plasuma cleaning process--Unloading two strip from chamber--Strip goes to magazine or next process to direct.
Total system controlled by PLC controller.（全系统PLC控制） LCD touch panel display and operation.（触摸式液晶显示屏操控） Lead frame (strip) size（导引带尺寸）--Up to 25 to 80(W)×100 to 250(L)×0.2 to 2.5(t)mm also. We can provide Customized In-Line plasma.（我们能够提供用户特制规格的生产线嵌入式等离子装置）

Feature（特点）

• Special electrode built in for getting good plasma efficient.（设计有能取得良好等离子效果的特殊电极）
• RIE/DP mode selectable（可选择使用RIE和DP模式）
• RF power up to 500W （高频功率提高到500W）
• All automatic operation（全自动操作运行）
• LCD touch panel and PLC control （触摸式LCD操控板）
• Any chamber size are available for customer's Lead frame or strip. （可以制作特殊规格的工作室尺寸）

Specifications（规格简介）